日前
艾森股份宣布
PSPI光刻胶已进入
小批量量产阶段
同时,企业自主开发的正性PSPI产品已获得晶圆头部企业的首笔订单,此为正性PSPI在主流晶圆厂的首个国产化材料订单,成功打破美国及日本企业垄断,具有国产化里程碑意义。
光敏聚酰亚胺(PSPI)是兼有耐热性能与感光性能的一类高分子材料,同时具有电绝缘性,可保护半导体电路免受物理和化学条件的影响。
与传统非光敏PI相比,由于PSPI本身有着很好的感光性能,因此在使用时无需涂覆仅起工作介质作用的光刻胶,可以大大缩短工序,提高生产效率。目前被广泛应用于晶圆的钝化防护层、功率器件及IGBT的绝缘高温防护层、α射线屏蔽材料等,对器件的应用可靠性起关键作用。
艾森股份作为千灯镇成长起来的优秀民营企业,自2010年成立以来,始终深耕主业、专注创新,逐步成长为国内领先的半导体材料企业,是工信部建议支持的首批国家级专精特新“小巨人”企业。去年成功登陆资本市场,成为科创板光刻胶第一股。
近年来,艾森股份围绕电子电镀、光刻两个半导体制造及封装过程中的关键工艺环节,形成了电镀液及配套试剂、光刻胶及配套试剂两大产品板块布局。在光刻胶及配套试剂方面,企业聚焦于特色工艺光刻胶,实施差异化、高端化的发展战略,累计申请发明专利87项,已授权36项。同时,企业积极布局负性PSPI、低温交联型PSPI、超高感度PSPI以及类PI型材料,预计数年内可完成材料认证工作,进入量产阶段。
新材料产业是战略性、基础性产业。近年来,千灯坚持走产业高端化、工艺智能化、园区绿色化之路,依托昆山精细材料产业园等特色园区载体,支持和服务企业自主创新、转型升级,通过培育一批优质项目,推动全镇产业经济高质量发展。作为全市新材料产业发展的高地,今年以来全镇新材料产业实现产值220亿元,同比增长5.7%。