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楼主 发表于: 01-21
, 来自:江苏省0==
日前
由江苏艾森半导体材料股份有限公司
自主开发的正性PSPI产品
已获得晶圆头部企业的首笔订单
这是正性PSPI在主流晶圆厂的
首个国产化材料订单
成功打破国外企业垄断
具有国产化里程碑意义
是兼有耐热性能与感光性能的一类高分子材料，同时具有电绝缘性，可保护半导体电路免受物理和化学条件的影响。与传统非光敏PI相比，PSPI本身有着很好的感光性能，在使用时无需涂覆仅起工作介质作用的光刻胶，可以大大缩短工序，提高生产效率。
目前，该技术被广泛应用于晶圆的钝化防护层、功率器件及IGBT的绝缘高温防护层、α射线屏蔽材料等，对器件的应用可靠性起关键作用。
近年来，艾森股份围绕电子电镀、光刻两个半导体制造及封装过程中的关键工艺环节，形成了电镀液及配套试剂、光刻胶及配套试剂两大产品板块布局。“在光刻胶及配套试剂方面，我们聚焦于特色工艺光刻胶，实施差异化、高端化的发展战略，累计申请发明专利90项，已授权39项。”企业相关负责人介绍，目前企业正积极布局负性PSPI、低温交联型PSPI、超高感度PSPI以及类PI型材料，预计数年内可完成材料认证工作，进入量产阶段。
来源：昆山发布
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